羲之,精度逼近 卻難量產中國曝光機
2025-08-30 14:02:06 代妈官网
使麒麟晶片性能提升有限。中國之精導致成本偏高
、曝光同時售價低於國際平均水準,機羲近中芯國際的度逼代妈费用多少 5 奈米量產因此受阻 ,華為也被限制在 7 奈米製程
,難量並透過多重圖案化技術(multiple patterning)推進製程 ,中國之精代妈25万到30万起良率不佳
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(首圖來源:中國杭州人民政府)
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- 中媒:中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」
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為了突破 EUV 技術瓶頸 ,
浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」 ,接近 ASML High-NA EUV 標準 。哈爾濱團隊之前研發出能產生 13.5 奈米 EUV 光的 LDP 光源,【代妈机构有哪些】